munk电源维修e230 g50/60高频电源控制器
munk电源维修范围:
munk高频电源、munk整流电源、munk可控硅电源、munk变压器、munk电源控制器等均可维修。
常见munk电源维修型号包括:d400 g100/75wrg-tfmyct14;munk gmbh d400 g100/100 wrg-tfmyct14;munk gmbh d400 g100/50 wrg-tfmyct;e230 g60/45 wrg-tfmyct24等。
对于单靶或者单弧源来说,可以进行直流和单hipims高能脉冲、直流和单脉冲以及单脉冲和单hipims高能脉冲叠加,实现共溅射的功能。直流和单hipims高能脉冲叠加。
对于双靶来说,可以进行更多种的叠加,比如双脉冲和双hipims高能脉冲、单脉冲和双hipims高能脉冲(bias偏压同步)、双hipims高能脉冲/双脉冲和单脉冲(bias偏压同步)、单hipims高能脉冲/双脉冲和单脉冲(bias偏压同步)、双hipims高能脉冲和rf(bias偏压同步)以及单hipims高能脉冲和rf(bias偏压同步)叠加等。
电源维修常见故障情况诊断:
高压打火,高压线接头处太靠近铁壳部分。
无光,风扇不转。保险丝断。
可以强制发光,不能主板控制发光。前级低压控制部分坏。
电流不能调节,电流控制部分坏。
总是烧元件,属于功率管短路坏。
测量电源箱外壳对操作台或工作台之间是否存在电压差;
电源输入的插头不能插错(老电源或主控箱可能会出现航插一样,其功能不一样,插错航插可能会引起内部控制板烧坏或内部器件损坏)
munk电源主要维修系列:ρka2,dcac100,as100,hs100,esa2000, hsg2000,e230,d400,g100等系列。
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